半岛菲沃泰申请真空镀膜自动加料装置专利提升了镀膜效果并实现了一种以上的蒸发材料复合镀膜的工艺需求

　　半岛菲沃泰申请真空镀膜自动加料装置专利提升了镀膜效果并实现了一种以上的蒸发材料复合镀膜的工艺需求金融界2024年5月29日消息，据国家知识产权局公告，江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司申请一项名为“真空镀膜自动加料装置“，公开号CN4.1，申请日期为2022年11月。

　　专利摘要显示半岛，本申请关于一种真空镀膜自动加料装置，涉及真空镀膜领域。该真空镀膜自动加料装置包括支架，支架上安装有滑动机构，滑动机构上安装有驱动机构以及加料机构，驱动机构的动力输出端与加料机构传动连接；加料机构的上方还安装有储料罐半岛，储料罐将粉料输送至加料机构内，加料机构与外部管式炉的进料口接驳；其中，储料罐上还安装有搅拌机构，搅拌机构将储料罐内的粉料均匀的输送至加料机构内。实现了在CVD过程中，粉末状态的蒸发材料（如派瑞林）少量、连续进入管式炉以进行后续的加热半岛、升华、裂解工艺，既满足了蒸发材料的用量，又达到了实时动态调整进料量的目的，提升了镀膜效果，并实现了一种以上的蒸发材料复合镀膜的工艺需求。